Pfeiffer Vacuum HIPACE 350 User manual

BETRIEBSANLEITUNG

OPERATING INSTRUCTIONS

Original

HIPACE 350

Turbopumpe

Turbopump

Dear Customer,

Thank you for choosing a Pfeiffer Vacuum product. Your new turbopump is designed to

support you by its performance, its perfect operation and without interfering your individual

application. The name Pfeiffer Vacuum stands for high-quality vacuum technology, a

comprehensive and complete range of top-quality products and first-class service. With this

expertise, we have acquired a multitude of skills contributing to an efficient and secure

implementation of our product.

Knowing that our product must not interfere with your actual work, we are convinced that our

product offers you the solution that supports you in the effective and trouble-free execution of

your individual application.

Please read these operating instructions before putting your product into operation for the

first time. If you have any questions or suggestions, please feel free to contact info@pfeiffer-

vacuum.de.

Further operating instructions from Pfeiffer Vacuum can be found in the Download Center on

our website.

Disclaimer of liability

These operating instructions describe all models and variants of your product. Note that your

product may not be equipped with all features described in this document. Pfeiffer Vacuum

constantly adapts its products to the latest state of the art without prior notice. Please take

into account that online operating instructions can deviate from the printed operating

instructions supplied with your product.

Furthermore, Pfeiffer Vacuum assumes no responsibility or liability for damage resulting from

the use of the product that contradicts its proper use or is explicitly defined as foreseeable

misuse.

This document is the intellectual property of Pfeiffer Vacuum and all contents of this

document are protected by copyright. They may not be copied, altered, reproduced or

published without the prior written permission of Pfeiffer Vacuum.

We reserve the right to make changes to the technical data and information in this document.

2/126

Inhaltsverzeichnis

1 Zu dieser Anleitung 7

1.1 Gültigkeit 7

1.1.1 Mitgeltende Dokumente 7

1.1.2 Varianten 7

1.2 Zielgruppe 7

1.3 Konventionen 7

1.3.1 Anweisungen im Text 7

1.3.2 Piktogramme 8

1.3.3 Aufkleber auf dem Produkt 8

1.3.4 Abkürzungen 9

1.4 Markennachweis 9

2 Sicherheit 10

2.1 Allgemeine Sicherheitshinweise 10

2.2 Sicherheitshinweise 10

2.3 Sicherheitsmaßnahmen 14

2.4 Einsatzgrenzen des Produkts 15

2.5 Bestimmungsgemäße Verwendung 15

2.6 Vorhersehbarer Fehlgebrauch 16

2.7 Personenqualifikation 16

2.7.1 Personenqualifikation sicherstellen 16

2.7.2 Personenqualifikation bei Wartung und Reparatur 17

2.7.3 Mit Pfeiffer Vacuum weiterbilden 17

3 Produktbeschreibung 18

3.1 Funktion 18

3.1.1 Kühlung 18

3.1.2 Rotorlager 18

3.1.3 Antrieb 18

3.2 Lieferumfang 19

3.3 Produkt identifizieren 19

3.3.1 Produkttypen 19

3.3.2 Produktmerkmale 19

4 Transport und Lagerung 20

4.1 Transport 20

4.2 Lagerung 20

5 Installation 21

5.1 Vorbereitende Arbeiten 21

5.2 Turbopumpe am Unterteil befestigen 22

5.3 Hochvakuumseite anschließen 22

5.3.1 Anforderungen für die Auslegung des Gegenflansches 22

5.3.2 Erdbebensicherheit berücksichtigen 23

5.3.3 Splitterschutz oder Schutzgitter verwenden 24

5.3.4 Dämpfungskörper verwenden 24

5.3.5 Einbaulagen 25

5.3.6 ISO-K Flansch an ISO-K befestigen 25

5.3.7 ISO-K Flansch an ISO-F befestigen 26

5.3.8 ISO-F Flansch an ISO-F befestigen 27

5.3.9 CF-Flansch an CF-F befestigen 28

5.4 Vorvakuumseite anschließen 30

5.5 Zubehör anschließen 31

5.6 Elektrische Versorgung anschließen 32

5.6.1 Turbopumpe erden 32

5.6.2 Elektrischen Anschluss herstellen 32

Inhaltsverzeichnis

3/126

6 Betrieb 34

6.1 Inbetriebnahme 34

6.2 Betriebsarten 34

6.2.1 Betrieb ohne Bedieneinheit 35

6.2.2 Betrieb über Multifunktionsanschluss "remote" 35

6.2.3 Betrieb über Anschluss "E74" 35

6.2.4 Betrieb über Pfeiffer Vacuum Steuergerät 35

6.2.5 Betrieb über Feldbus 35

6.3 Turbopumpe einschalten 36

6.4 Betriebsüberwachung 36

6.4.1 Betriebsanzeige über LED 36

6.4.2 Temperaturüberwachung 37

6.5 Ausschalten und Fluten 37

6.5.1 Ausschalten 37

6.5.2 Fluten 37

7 Wartung 39

7.1 Allgemeine Wartungshinweise 39

7.2 Checkliste für Inspektion und Wartung 39

7.3 Betriebsmittelspeicher austauschen 40

7.3.1 Betriebsmittelspeicher demontieren 41

7.3.2 Betriebsmittelspeicher montieren 42

7.4 Antriebselektronik austauschen 43

7.4.1 Antriebselektronik demontieren 44

7.4.2 Antriebselektronik installieren 44

7.4.3 Drehzahlvorgabe bestätigen 45

8 Außerbetriebnahme 47

8.1 Stillsetzen für längere Zeit 47

8.2 Wiederinbetriebnahme 47

9 Recycling und Entsorgung 48

9.1 Allgemeine Entsorgungshinweise 48

9.2 Turbopumpe entsorgen 48

10 Störungen 49

11 Servicelösungen von Pfeiffer Vacuum 52

12 Ersatzteile HiPace 350 54

13 Zubehör 55

13.1 Zubehörinformationen 55

13.2 Zubehör bestellen 55

14 Technische Daten und Abmessungen 57

14.1 Allgemeines 57

14.2 Technische Daten 57

14.3 Kennlinien 60

14.4 Medienberührende Werkstoffe 61

14.5 Abmessungen 61

EG Konformitätserklärung 63

UK Konformitätserklärung 64

Inhaltsverzeichnis

4/126

Tabellenverzeichnis

Tab. 1: Verwendete Abkürzungen im Dokument 9

Tab. 2: Zulässige Umgebungsbedingungen 15

Tab. 3: Produktbezeichnung von HiPace Turbopumpen 19

Tab. 4: Merkmale der Turbopumpen 19

Tab. 5: Anforderungen für die Befestigung der Turbopumpen am Unterteil 22

Tab. 6: Anforderungen für die Auslegung des kundenseitigen Hochvakuuman-

schlusses

Tab. 7: Reduzierung des Saugvermögens bei Verwendung eines Splitterschutzes

oder Schutzgitters

Tab. 8: Voreingestellte Zubehöranschlüsse an Antriebselektronik TC 400 31

Tab. 9: Werkseitige Einstellung der Antriebselektronik von Turbopumpen bei Auslie-

ferung

Tab. 10: Verhalten und Bedeutung der LEDs an der Antriebselektronik 36

Tab. 11: Werkseinstellungen für verzögertes Fluten bei Turbopumpen 38

Tab. 12: Wartungsintervalle 40

Tab. 13: Charakteristische Nenndrehzahlen der Turbopumpen 45

Tab. 14: Störungsbehebung bei Turbopumpen 51

Tab. 15: Verfügbare Ersatzteile 54

Tab. 16: Zubehör 56

Tab. 17: Zubehörabweichungen bei TC 400 | 48 V DC 56

Tab. 18: Umrechnungstabelle: Druckeinheiten 57

Tab. 19: Umrechnungstabelle: Einheiten für Gasdurchsatz 57

Tab. 20: Technische Daten für HiPace 350 mit TC 400 | 24 V 59

Tab. 21: Technische Daten für HiPace 350 mit TC 400 | 48 V 60

Tab. 22: Werkstoffe mit Prozessmedienkontakt 61

Tabellenverzeichnis

5/126

Abbildungsverzeichnis

Abb. 1: Position der Aufkleber auf dem Produkt 9

Abb. 2: Aufbau HiPace 350 18

Abb. 3: Beispiel: Sicherung gegen Verschieben und Kippen durch externe Erschüt-

terungen

Abb. 4: Empfohlene Ausrichtung des Vorvakuumanschlusses bei Verwendung ölge-

dichteter Vorpumpen

Abb. 5: Flanschverbindung ISO-K zu ISO-K, Klammerschraube 25

Abb. 6: Flanschverbindung ISO-K zu ISO-F, Sechskantschraube und Gewindeboh-

rung

Abb. 7: Flanschverbindung ISO-K zu ISO-F, Stiftschraube und Gewindebohrung 26

Abb. 8: Flanschverbindung ISO-K zu ISO-F, Stiftschraube und Durchgangsbohrung 27

Abb. 9: Flanschverbindung ISO-F, Sechskantschraube und Gewindebohrung 27

Abb. 10: Flanschverbindung ISO-F, Stiftschraube und Gewindebohrung 27

Abb. 11: Flanschverbindung ISO-F, Stiftschraube und Durchgangsbohrung 28

Abb. 12: Flanschverbindung CF-F, Sechskantschraube und Durchgangsbohrung 28

Abb. 13: Flanschverbindung CF-F, Siftschraube und Gewindebohrung 29

Abb. 14: Flanschverbindung CF-F, Siftschraube und Durchgangsbohrung 29

Abb. 15: Beispiel für den Vorvakuumanschluss 30

Abb. 16: Beispiel: Anschluss des Erdungskabels 32

Abb. 17: Antriebselektronik mit Netzteil verbinden 33

Abb. 18: Betriebsmittelspeicher demontieren 42

Abb. 19: Betriebsmittelspeicher montieren 43

Abb. 20: Demontage der Antriebselektronik TC 400 44

Abb. 21: Montage der Antriebselektronik TC 400 45

Abb. 22: Ersatzteile HiPace 350 54

Abb. 23: Kennlinie Gasdurchsatz in Abhängigkeit der Drehzahl 60

Abb. 24: Abmessungen HiPace 350 | TC 400 | DN 100 ISO-K 61

Abb. 25: Abmessungen HiPace 350 | TC 400 | DN 100 ISO-F 62

Abb. 26: Abmessungen HiPace 350 | TC 400 | DN 100 CF-F 62

Abbildungsverzeichnis

6/126

1 Zu dieser Anleitung

WICHTIG

Vor Gebrauch sorgfältig lesen.

Aufbewahren für späteres Nachschlagen.

1.1 Gültigkeit

Diese Betriebsanleitung ist ein Kundendokument der Firma Pfeiffer Vacuum. Die Betriebsanleitung be-

schreibt das benannte Produkt in seiner Funktion und vermittelt die wichtigsten Informationen für den

sicheren Gebrauch des Geräts. Die Beschreibung erfolgt nach den geltenden Richtlinien. Alle Angaben

in dieser Betriebsanleitung beziehen sich auf den aktuellen Entwicklungsstand des Produkts. Die Doku-

mentation behält ihre Gültigkeit, sofern kundenseitig keine Veränderungen am Produkt vorgenommen

werden.

1.1.1 Mitgeltende Dokumente

Dokument Nummer

Betriebsanleitung Antriebselektronik TC 400 Standard PT 0203 BN

Betriebsanleitung Antriebselektronik TC 400 PB, Profibus PT 0244 BN

Betriebsanleitung Antriebselektronik TC 400 E74, gem. Semi E74 PT 0302 BN

Betriebsanleitung Antriebselektronik TC 400 DN, DeviceNet PT 0352 BN

Betriebsanleitung Antriebselektronik TC 400 EC, EtherCat PT 0452 BN

Konformitätserklärung Bestandteil dieser Anleitung

Aktuelle Dokumente sind verfügbar über Pfeiffer Vacuum Download Center.

1.1.2 Varianten

●HiPace 350, DN 100 ISO-K, TC 400, 24 V DC

●HiPace 350, DN 100 ISO-F, TC 400, 24 V DC

●HiPace 350, DN 100 CF-F, TC 400, 24 V DC

●HiPace 350, DN 100 ISO-K, TC 400, 48 V DC

●HiPace 350, DN 100 ISO-F, TC 400, 48 V DC

●HiPace 350, DN 100 CF-F, TC 400, 48 V DC

1.2 Zielgruppe

Diese Betriebsanleitung richtet sich an alle Personen, die das Produkt

●transportieren,

●aufstellen (installieren),

●bedienen und betreiben,

●außerbetriebnehmen,

●warten und reinigen,

●lagern oder entsorgen.

Die in diesem Dokument beschriebenen Arbeiten dürfen nur Personen durchführen, die eine geeignete

technische Ausbildung besitzen (Fachpersonal) oder eine entsprechende Schulung durch Pfeiffer Vacu-

um erhalten haben.

1.3 Konventionen

1.3.1 Anweisungen im Text

Handlungsanweisungen im Dokument folgen einem generellen und in sich abgeschlossenen Aufbau.

Die notwendige Tätigkeit ist durch einen einzelnen oder mehrere Handlungsschritte gekennzeichnet.

Zu dieser Anleitung

7/126

Einzelner Handlungsschritt

Ein liegendes gefülltes Dreieck kennzeichnet den einzigen Handlungsschritt einer Tätigkeit.

►Dies ist ein einzelner Handlungsschritt.

Abfolge von mehreren Handlungsschritten

Die numerische Aufzählung kennzeichnet eine Tätigkeit mit mehreren notwendigen Handlungsschritten.

1. Handlungsschritt 1

2. Handlungsschritt 2

3. ...

1.3.2 Piktogramme

Im Dokument verwendete Piktogramme kennzeichnen nützliche Informationen.

Hinweis

Tipp

1.3.3 Aufkleber auf dem Produkt

Dieser Abschnitt beschreibt alle vorhandenen Aufkleber auf dem Produkt, sowie deren Bedeutung.

HiPace 350

PM P07X XXXXX

- - - - - - - -

C US

UL / CSA 61010-1

TÜV Rheinland

Oil

S/N

Mod.

P/N

n, f

Mass Made in Germany 2023/01

PM XXX XXX -T

66000 1/min, 1100 Hz

7.2 kg

D-35614 Asslar Berliner Str. 43

Type 12

IPx4

Typenschild

Das Typenschild der Turbopumpe befindet sich am Unterteil

der Vakuumpumpe.

Hinweis Betriebsanleitung

Dieser Aufkleber weist darauf hin, vor allen Tätigkeiten diese

Betriebsanleitung zu lesen.

Schutzklasse

Der Aufkleber beschreibt die Schutzklasse III für das Produkt.

Die Platzierung zeigt die Position für den Funktionserdean-

schluss an.

warranty seal

Verschlusssiegel

Das Produkt ist ab Werk versiegelt. Beschädigung oder Entfer-

nen eines Verschlusssiegels führt zum Verlust der Gewährleis-

tung.

Zu dieser Anleitung

8/126

Abb. 1: Position der Aufkleber auf dem Produkt

1 Hinweis Betriebsanleitung 3 Hinweis Funktionserdeanschluss

2 Verschlusssiegel 4 Typenschild der Turbopumpe

1.3.4 Abkürzungen

Abkürzung Bedeutung im Dokument

CF Flansch: Anschlussverbindung metallgedichtet gemäß ISO 3669

dBetrag des Durchmessers (in mm)

DC Gleichstrom

DN Nomineller Durchmesser als Größenbeschreibung

fBetrag der Drehzahl einer Vakuumpumpe (frequency, in 1/min oder Hz)

HV Hochvakuumflansch, Hochvakuumseite

ISO Flansch: Anschlussverbindung gemäß ISO 1609 und ISO 2861

LED Leuchtdiode

FE Funktionserde (functional earth)

FKM Fluor-Polymer-Kautschuk

[P:xxx] Steuerparameter der Antriebselektronik. Fettgedruckt als dreistellige Nummer in ecki-

gen Klammern. Häufig in Verbindung mit einer Kurzbezeichnung angezeigt.

Beispiel: [P:312] Softwareversion

remote 26-polige D-Sub-Anschlussbuchse an der Antriebselektronik der Turbopumpe

SW Schlüsselweite

TTemperatur (in °C)

TC Antriebselektronik der Turbopumpe (turbo controller)

TPS Spannungsversorgung (turbo power supply)

VV Vorvakuumflansch, Vorvakuumanschluss

Tab. 1: Verwendete Abkürzungen im Dokument

1.4 Markennachweis

●DeviceNet® ist eine Marke von Open DeviceNet Vendor Association Inc.

●Profibus® ist eine Marke der Profibus Nutzerorganisation e.V.

●EtherCAT® ist eine eingetragene Marke und patentierte Technologie, lizenziert durch die Beckhoff

Automation GmbH, Deutschland.

Zu dieser Anleitung

9/126

2 Sicherheit

2.1 Allgemeine Sicherheitshinweise

Im vorliegenden Dokument sind folgende 4 Risikostufen und 1 Informationslevel berücksichtigt.

GEFAHR

Unmittelbar bevorstehende Gefahr

Kennzeichnet eine unmittelbar bevorstehende Gefahr, die bei Nichtbeachtung zum Tod oder zu

schweren Verletzungen führt.

►Anweisung zur Vermeidung der Gefahrensituation

WARNUNG

Möglicherweise bevorstehende Gefahr

Kennzeichnet eine bevorstehende Gefahr, die bei Nichtbeachtung zum Tod oder zu schweren Verlet-

zungen führen kann.

►Anweisung zur Vermeidung der Gefahrensituation

VORSICHT

Möglicherweise bevorstehende Gefahr

Kennzeichnet eine bevorstehende Gefahr, die bei Nichtbeachtung zu leichten Verletzungen führen

kann.

►Anweisung zur Vermeidung der Gefahrensituation

HINWEIS

Gefahr von Sachschäden

Wird verwendet um auf Handlungen aufmerksam zu machen, die nicht auf Personenschäden bezo-

gen sind.

►Anweisung zur Vermeidung von Sachschäden

Hinweise, Tipps oder Beispiele kennzeichnen wichtige Informationen zum Produkt oder zu

diesem Dokument.

2.2 Sicherheitshinweise

Alle Sicherheitshinweise in diesem Dokument beruhen auf Ergebnissen der Risikobeurteilung gemäß

Maschinenrichtlinie 2006/42/EG Anhang I und EN ISO 12100 Kapitel 5. Soweit zutreffend wurden alle

Lebensphasen des Produkts berücksichtigt.

Risiken beim Transport

WARNUNG

Gefahr schwerer Verletzungen durch herabfallende Gegenstände

Durch das Herabfallen von Gegenständen besteht die Gefahr von Verletzungen an Gliedmaßen bis

hin zu Knochenbrüchen.

►Seien Sie beim Transport der Produkte von Hand besonders vorsichtig und aufmerksam.

►Stapeln Sie die Produkte nicht.

►Tragen Sie Schutzausrüstungen, z. B. Sicherheitsschuhe.

Sicherheit

10/126

Table of contents

Languages:

Other Pfeiffer Vacuum Water Pump manuals

Pfeiffer Vacuum

Pfeiffer Vacuum HiCube 80 Eco User manual

Pfeiffer Vacuum

Pfeiffer Vacuum ATH 2300 MT User manual

Pfeiffer Vacuum

Pfeiffer Vacuum ACP 120G User manual

Pfeiffer Vacuum

Pfeiffer Vacuum HIPACE 80 NEO User manual

Pfeiffer Vacuum

Pfeiffer Vacuum DUO 1.6 MC User manual

Pfeiffer Vacuum

Pfeiffer Vacuum MVP 040-2 User manual

Pfeiffer Vacuum

Pfeiffer Vacuum A 100 L User manual

Pfeiffer Vacuum

Pfeiffer Vacuum UNO 120 A User manual

Pfeiffer Vacuum

Pfeiffer Vacuum TMH 521 Quick guide

Pfeiffer Vacuum

Pfeiffer Vacuum HiPace 2300 User manual

Pfeiffer Vacuum

Pfeiffer Vacuum TPH 2101 U P User manual

Pfeiffer Vacuum

Pfeiffer Vacuum HISCROLL 6 User manual

Pfeiffer Vacuum

Pfeiffer Vacuum TPR-270 User manual

Pfeiffer Vacuum

Pfeiffer Vacuum MVP 20-3 DC User manual

Pfeiffer Vacuum

Pfeiffer Vacuum MVP 003-2 DC User manual

Pfeiffer Vacuum

Pfeiffer Vacuum SMARTVANE 55 User manual

Pfeiffer Vacuum

Pfeiffer Vacuum DUO 3 DC User manual

Pfeiffer Vacuum

Pfeiffer Vacuum ACP 120G User manual

Pfeiffer Vacuum

Pfeiffer Vacuum HICUBE PRO User manual

Pfeiffer Vacuum

Pfeiffer Vacuum HIPACE 80 MINI User manual

Pfeiffer Vacuum

Pfeiffer Vacuum TPH 1201 U P User manual

Pfeiffer Vacuum

Pfeiffer Vacuum DUO 6 User manual

Pfeiffer Vacuum

Pfeiffer Vacuum UNO 6 User manual

Pfeiffer Vacuum

Pfeiffer Vacuum MVP 030-3 C DC User manual

Popular Water Pump manuals by other brands

Neptun

Neptun NPHW 5500 operating instructions

Sensidyne

Sensidyne Gilian BDX-II Operation & service manual

Draper

Draper 47808 instructions

Trolla

Trolla 12820 manual

Sunfab

Sunfab SVH Series installation guide

WilTec

WilTec 50740 Operation manual

Fieldmann

Fieldmann FVC 5015 EK user manual

Everbilt

Everbilt EFSUB5-122HD Use and care guide

Graco

Graco Husky 3300e manual

esotec

esotec 101018 operating manual

moyno

moyno 2000 CC Service manual

Becker

Becker BASIC VASF 2.80/1-0.AC230 operating instructions

Sykes AmeriPumps

Sykes AmeriPumps GP100M Operation and maintenance instructions

DUROMAX

DUROMAX XP WX Series user manual

BRINKMANN PUMPS

BRINKMANN PUMPS SBF550 operating instructions

Franklin Electric

Franklin Electric IPS Installation & operation manual

Xylem

Xylem e-1532 Series instruction manual

Milton Roy

Milton Roy PRIMEROYAL instruction manual