Pfeiffer Vacuum HIPACE 80 MINI User manual

BETRIEBSANLEITUNG

OPERATING INSTRUCTIONS

Original

HIPACE 80 MINI

Turbopumpe

Turbopump

Dear Customer,

Thank you for choosing a Pfeiffer Vacuum product. Your new turbopump is designed to

support you by its performance, its perfect operation and without interfering your individual

application. The name Pfeiffer Vacuum stands for high-quality vacuum technology, a

comprehensive and complete range of top-quality products and first-class service. With this

expertise, we have acquired a multitude of skills contributing to an efficient and secure

implementation of our product.

Knowing that our product must not interfere with your actual work, we are convinced that our

product offers you the solution that supports you in the effective and trouble-free execution of

your individual application.

Please read these operating instructions before putting your product into operation for the

first time. If you have any questions or suggestions, please feel free to contact info@pfeiffer-

vacuum.de.

Further operating instructions from Pfeiffer Vacuum can be found in the Download Center on

our website.

Disclaimer of liability

These operating instructions describe all models and variants of your product. Note that your

product may not be equipped with all features described in this document. Pfeiffer Vacuum

constantly adapts its products to the latest state of the art without prior notice. Please take

into account that online operating instructions can deviate from the printed operating

instructions supplied with your product.

Furthermore, Pfeiffer Vacuum assumes no responsibility or liability for damage resulting from

the use of the product that contradicts its proper use or is explicitly defined as foreseeable

misuse.

This document is the intellectual property of Pfeiffer Vacuum and all contents of this

document are protected by copyright. They may not be copied, altered, reproduced or

published without the prior written permission of Pfeiffer Vacuum.

We reserve the right to make changes to the technical data and information in this document.

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Inhaltsverzeichnis

1 Zu dieser Anleitung 7

1.1 Gültigkeit 7

1.1.1 Mitgeltende Dokumente 7

1.1.2 Varianten 7

1.2 Zielgruppe 7

1.3 Konventionen 7

1.3.1 Anweisungen im Text 7

1.3.2 Piktogramme 8

1.3.3 Aufkleber auf dem Produkt 8

1.3.4 Abkürzungen 9

1.4 Markennachweis 9

2 Sicherheit 10

2.1 Allgemeine Sicherheitshinweise 10

2.2 Sicherheitshinweise 10

2.3 Sicherheitsmaßnahmen 14

2.4 Einsatzgrenzen des Produkts 15

2.5 Bestimmungsgemäße Verwendung 15

2.6 Vorhersehbarer Fehlgebrauch 16

2.7 Personenqualifikation 16

2.7.1 Personenqualifikation sicherstellen 16

2.7.2 Personenqualifikation bei Wartung und Reparatur 17

2.7.3 Mit Pfeiffer Vacuum weiterbilden 17

3 Produktbeschreibung 18

3.1 Funktion 18

3.1.1 Kühlung 18

3.1.2 Rotorlager 18

3.1.3 Antrieb 18

3.2 Produkt identifizieren 18

3.2.1 Produkttypen 19

3.2.2 Produktmerkmale 19

3.3 Lieferumfang 19

4 Transport und Lagerung 20

4.1 Transport 20

4.2 Lagerung 20

5 Installation 21

5.1 Vorbereitende Arbeiten 21

5.2 Turbopumpe am Unterteil befestigen 22

5.3 Hochvakuumseite anschließen 23

5.3.1 Anforderungen für die Auslegung des Gegenflansches 23

5.3.2 Erdbebensicherheit berücksichtigen 23

5.3.3 Splitterschutz oder Schutzgitter verwenden 24

5.3.4 Dämpfungskörper verwenden 24

5.3.5 Einbaulagen 24

5.3.6 ISO-K Flansch an ISO-K befestigen 25

5.3.7 ISO-K Flansch an ISO-F befestigen 25

5.4 Vorvakuumseite anschließen 27

5.5 Zubehör anschließen 28

5.6 Elektrische Versorgung anschließen 29

5.6.1 Turbopumpe erden 29

5.6.2 Elektrischen Anschluss herstellen 30

6 Betrieb 32

6.1 Inbetriebnahme 32

Inhaltsverzeichnis

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6.2 Betriebsarten 32

6.2.1 Betrieb ohne Bedieneinheit 33

6.2.2 Betrieb über Multifunktionsanschluss "X3" 33

6.2.3 Betrieb über Pfeiffer Vacuum Steuergerät 33

6.2.4 Betrieb über Feldbus 33

6.3 Betriebsüberwachung 34

6.3.1 Betriebsanzeige über LED 34

6.3.2 Temperaturüberwachung 34

6.4 Ausschalten und Fluten 34

6.4.1 Ausschalten 34

6.4.2 Fluten 35

7 Wartung 36

7.1 Allgemeine Wartungshinweise 36

7.2 Wartungsintervalle und- zuständigkeiten 36

7.3 Betriebsmittelspeicher austauschen 37

7.3.1 Betriebsmittelspeicher demontieren 37

7.3.2 Betriebsmittelspeicher montieren 38

7.4 Antriebselektronik austauschen 39

7.5 Drehzahlvorgabe bestätigen 40

8 Außerbetriebnahme 42

8.1 Stillsetzen für längere Zeit 42

8.2 Wiederinbetriebnahme 42

9 Recycling und Entsorgung 43

9.1 Allgemeine Entsorgungshinweise 43

9.2 Turbopumpe entsorgen 43

10 Störungen 44

11 Servicelösungen von Pfeiffer Vacuum 46

12 Ersatzteile HiPace 80 mini 48

13 Zubehör 49

13.1 Zubehörinformationen 49

13.2 Zubehör bestellen 49

14 Technische Daten und Abmessungen 51

14.1 Allgemeines 51

14.2 Technische Daten 51

14.3 Abmessungen 53

EG Konformitätserklärung 54

UK Konformitätserklärung 55

Inhaltsverzeichnis

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Tabellenverzeichnis

Tab. 1: Verwendete Abkürzungen im Dokument 9

Tab. 2: Zulässige Umgebungsbedingungen 15

Tab. 3: Produktbezeichnung von HiPace Turbopumpen 19

Tab. 4: Merkmale der Turbopumpen 19

Tab. 5: Anforderungen für die Befestigung der Turbopumpen am Unterteil 22

Tab. 6: Anforderungen für die Auslegung des kundenseitigen Hochvakuuman-

schlusses

Tab. 7: Verhalten des Saugvermögens bei Splitterschutz oder Schutzgitter 24

Tab. 8: Werkseitige Einstellung der Antriebselektronik von Turbopumpen bei Auslie-

ferung

Tab. 9: Verhalten und Bedeutung der LEDs an der Antriebselektronik 34

Tab. 10: Werkseinstellungen für verzögertes Fluten bei Turbopumpen 35

Tab. 11: Charakteristische Nenndrehzahlen der Turbopumpen 41

Tab. 12: Störungsbehebung bei Turbopumpen 45

Tab. 13: Übersicht über die verfügbaren Ersatzteile für HiPace 80 mini 48

Tab. 14: Zubehör 50

Tab. 15: Umrechnungstabelle: Druckeinheiten 51

Tab. 16: Umrechnungstabelle: Einheiten für Gasdurchsatz 51

Tab. 17: HiPace 80 mini | DN63 ISO-K 52

Tabellenverzeichnis

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Abbildungsverzeichnis

Abb. 1: Position der Aufkleber auf dem Produkt 8

Abb. 2: Aufbau HiPace 80 mini 18

Abb. 3: Beispiel: Sicherung gegen Verschieben und Kippen durch externe Erschüt-

terungen

Abb. 4: Empfohlene Ausrichtung des Vorvakuumanschlusses bei Verwendung ölge-

dichteter Vorpumpen

Abb. 5: Flanschverbindung ISO-K zu ISO-K, Klammerschraube 25

Abb. 6: Flanschverbindung ISO-K mit ISO-F, Pratze und Gewindebohrung 26

Abb. 7: Flanschverbindung ISO-K mit ISO-F, Sechskantschraube und Gewindeboh-

rung

Abb. 8: Flanschverbindung ISO-K mit ISO-F, Stiftschraube und Gewindebohrung 26

Abb. 9: Flanschverbindung ISO-K mit ISO-F, Stiftschraube und Durchgangsbohrung 27

Abb. 10: Beispiel für den Vorvakuumanschluss an HiPace 80 mini 28

Abb. 11: Beispiel für den Zubehöranschluss über Adapter TCS 12 28

Abb. 12: Beispiel: Anschluss des Erdungskabels 29

Abb. 13: Antriebselektronik mit Netzteil verbinden 30

Abb. 14: Betriebsmittelspeicher demontieren 38

Abb. 15: Kapillarstäbe einsetzen und Betriebsmittelspeicher montieren 39

Abb. 16: Demontage und Montage der Antriebselektronik TC 110 40

Abb. 17: Ersatzteile HiPace 80 mini 48

Abb. 18: HiPace 80 mini | TC 110 | DN 63 ISO-K 53

Abbildungsverzeichnis

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1 Zu dieser Anleitung

WICHTIG

Vor Gebrauch sorgfältig lesen.

Aufbewahren für späteres Nachschlagen.

1.1 Gültigkeit

Diese Betriebsanleitung ist ein Kundendokument der Firma Pfeiffer Vacuum. Die Betriebsanleitung be-

schreibt das benannte Produkt in seiner Funktion und vermittelt die wichtigsten Informationen für den

sicheren Gebrauch des Geräts. Die Beschreibung erfolgt nach den geltenden Richtlinien. Alle Angaben

in dieser Betriebsanleitung beziehen sich auf den aktuellen Entwicklungsstand des Produkts. Die Doku-

mentation behält ihre Gültigkeit, sofern kundenseitig keine Veränderungen am Produkt vorgenommen

werden.

1.1.1 Mitgeltende Dokumente

Dokument Nummer

Antriebselektronik TC 110 Standard PT 0204 BN

Antriebselektronik TC 110 PB, Profibus PT 0245 BN

Antriebselektronik TC 110 E74, gem. Semi E74 PT 0301 BN

Antriebselektronik TC 110 RS PT 0351 BN

Konformitätserklärung Bestandteil dieser Anleitung

Aktuelle Dokumente sind verfügbar über Pfeiffer Vacuum Download Center.

1.1.2 Varianten

●HiPace 80 mini, DN 63 ISO-K

1.2 Zielgruppe

Diese Betriebsanleitung richtet sich an alle Personen, die das Produkt

●transportieren,

●aufstellen (installieren),

●bedienen und betreiben,

●außerbetriebnehmen,

●warten und reinigen,

●lagern oder entsorgen.

Die in diesem Dokument beschriebenen Arbeiten dürfen nur Personen durchführen, die eine geeignete

technische Ausbildung besitzen (Fachpersonal) oder eine entsprechende Schulung durch Pfeiffer Vacu-

um erhalten haben.

1.3 Konventionen

1.3.1 Anweisungen im Text

Handlungsanweisungen im Dokument folgen einem generellen und in sich abgeschlossenen Aufbau.

Die notwendige Tätigkeit ist durch einen einzelnen oder mehrere Handlungsschritte gekennzeichnet.

Einzelner Handlungsschritt

Ein liegendes gefülltes Dreieck kennzeichnet den einzigen Handlungsschritt einer Tätigkeit.

►Dies ist ein einzelner Handlungsschritt.

Zu dieser Anleitung

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Abfolge von mehreren Handlungsschritten

Die numerische Aufzählung kennzeichnet eine Tätigkeit mit mehreren notwendigen Handlungsschritten.

1. Handlungsschritt 1

2. Handlungsschritt 2

3. ...

1.3.2 Piktogramme

Im Dokument verwendete Piktogramme kennzeichnen nützliche Informationen.

Hinweis

Tipp

1.3.3 Aufkleber auf dem Produkt

Dieser Abschnitt beschreibt alle vorhandenen Aufkleber auf dem Produkt, sowie deren Bedeutung.

Oil

S/N

Mod.

HiPace 80 Mini

PM PXX XXX

- - - - - - - -

P/N

n, f

Mass

PM XXX XXX -T

90000 1/min, 1500 Hz

_._ kg

D-35614 Asslar Berliner Str. 43

Made in Germany 2023/07

C US

UL / CSA 61010-1

TÜV Rheinland

Type 12

IP44

Typenschild (Beispiel)

Das Typenschild der Turbopumpe befindet sich am Unterteil

der Vakuumpumpe.

Typenschild der Antriebselektronik

Das Typenschild der Antriebselektronik befindet sich auf deren

Oberseite

warranty seal

Verschlusssiegel

Das Produkt ist ab Werk versiegelt. Beschädigung oder Entfer-

nen eines Verschlusssiegels führt zum Verlust der Gewährleis-

tung.

Schutzklasse

Der Aufkleber beschreibt die Schutzklasse 1 für das Produkt.

Die Platzierung zeigt die Position für den Erdungsanschluss

an.

Abb. 1: Position der Aufkleber auf dem Produkt

1 Hinweis Betriebsanleitung 4 Typenschild der Turbopumpe

2 Typenschild Antriebselektronik 5 Hinweis Erdungsanschluss

3 Verschlusssiegel

Zu dieser Anleitung

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1.3.4 Abkürzungen

Abkürzung Bedeutung im Dokument

CF Flansch: Anschlussverbindung metallgedichtet gemäß ISO 3669

dBetrag des Durchmessers (in mm)

DC Gleichstrom

DN Nomineller Durchmesser als Größenbeschreibung

fBetrag der Drehzahl einer Vakuumpumpe (frequency, in 1/min oder Hz)

HPU Handheld Programming Unit. Assistent zur Steuerung und Kontrolle der Pumpenpara-

meter

HV Hochvakuumflansch, Hochvakuumseite

ISO Flansch: Anschlussverbindung gemäß ISO 1609 und ISO 2861

LED Leuchtdiode

FE Funktionserde (functional earth)

FKM Fluor-Polymer-Kautschuk

[P:xxx] Steuerparameter der Antriebselektronik. Fettgedruckt als dreistellige Nummer in ecki-

gen Klammern. Häufig in Verbindung mit einer Kurzbezeichnung angezeigt.

Beispiel: [P:312] Softwareversion

SW Schlüsselweite

TTemperatur (in °C)

TC Antriebselektronik der Turbopumpe (turbo controller)

TPS Spannungsversorgung (turbo power supply)

VV Vorvakuumflansch, Vorvakuumanschluss

X3 15-polige D-Sub-Anschlussbuchse an der Antriebselektronik der Turbopumpe

Tab. 1: Verwendete Abkürzungen im Dokument

1.4 Markennachweis

●Torx® ist eine Marke von Acument Intellectual Properties, LLC.

●Profibus® ist eine Marke der Profibus Nutzerorganisation e.V.

Zu dieser Anleitung

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2 Sicherheit

2.1 Allgemeine Sicherheitshinweise

Im vorliegenden Dokument sind folgende 4 Risikostufen und 1 Informationslevel berücksichtigt.

GEFAHR

Unmittelbar bevorstehende Gefahr

Kennzeichnet eine unmittelbar bevorstehende Gefahr, die bei Nichtbeachtung zum Tod oder zu

schweren Verletzungen führt.

►Anweisung zur Vermeidung der Gefahrensituation

WARNUNG

Möglicherweise bevorstehende Gefahr

Kennzeichnet eine bevorstehende Gefahr, die bei Nichtbeachtung zum Tod oder zu schweren Verlet-

zungen führen kann.

►Anweisung zur Vermeidung der Gefahrensituation

VORSICHT

Möglicherweise bevorstehende Gefahr

Kennzeichnet eine bevorstehende Gefahr, die bei Nichtbeachtung zu leichten Verletzungen führen

kann.

►Anweisung zur Vermeidung der Gefahrensituation

HINWEIS

Gefahr von Sachschäden

Wird verwendet, um auf Handlungen aufmerksam zu machen, die nicht auf Personenschäden bezo-

gen sind.

►Anweisung zur Vermeidung von Sachschäden

Hinweise, Tipps oder Beispiele kennzeichnen wichtige Informationen zum Produkt oder zu

diesem Dokument.

2.2 Sicherheitshinweise

Alle Sicherheitshinweise in diesem Dokument beruhen auf Ergebnissen der Risikobeurteilung gemäß

Maschinenrichtlinie 2006/42/EG Anhang I und EN ISO 12100 Kapitel 5. Soweit zutreffend wurden alle

Lebensphasen des Produkts berücksichtigt.

Risiken beim Transport

WARNUNG

Gefahr schwerer Verletzungen durch herabfallende Gegenstände

Durch das Herabfallen von Gegenständen besteht die Gefahr von Verletzungen an Gliedmaßen bis

hin zu Knochenbrüchen.

►Seien Sie beim Transport der Produkte von Hand besonders vorsichtig und aufmerksam.

►Stapeln Sie die Produkte nicht.

►Tragen Sie Schutzausrüstungen, z. B. Sicherheitsschuhe.

Sicherheit

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