Pfeiffer Vacuum HiPace 30 User manual

BETRIEBSANLEITUNG

OPERATING INSTRUCTIONS

Original

HIPACE 30

Turbopumpe

Turbopump

Dear Customer,

Thank you for choosing a Pfeiffer Vacuum product. Your new turbopump is designed to

support you by its performance, its perfect operation and without interfering your individual

application. The name Pfeiffer Vacuum stands for high-quality vacuum technology, a

comprehensive and complete range of top-quality products and first-class service. With this

expertise, we have acquired a multitude of skills contributing to an efficient and secure

implementation of our product.

Knowing that our product must not interfere with your actual work, we are convinced that our

product offers you the solution that supports you in the effective and trouble-free execution of

your individual application.

Please read these operating instructions before putting your product into operation for the

first time. If you have any questions or suggestions, please feel free to contact info@pfeiffer-

vacuum.de.

Further operating instructions from Pfeiffer Vacuum can be found in the Download Center on

our website.

Disclaimer of liability

These operating instructions describe all models and variants of your product. Note that your

product may not be equipped with all features described in this document. Pfeiffer Vacuum

constantly adapts its products to the latest state of the art without prior notice. Please take

into account that online operating instructions can deviate from the printed operating

instructions supplied with your product.

Furthermore, Pfeiffer Vacuum assumes no responsibility or liability for damage resulting from

the use of the product that contradicts its proper use or is explicitly defined as foreseeable

misuse.

This document is the intellectual property of Pfeiffer Vacuum and all contents of this

document are protected by copyright. They may not be copied, altered, reproduced or

published without the prior written permission of Pfeiffer Vacuum.

We reserve the right to make changes to the technical data and information in this document.

2/114

Inhaltsverzeichnis

1 Zu dieser Anleitung 7

1.1 Gültigkeit 7

1.1.1 Mitgeltende Dokumente 7

1.1.2 Varianten 7

1.2 Zielgruppe 7

1.3 Konventionen 7

1.3.1 Anweisungen im Text 7

1.3.2 Piktogramme 8

1.3.3 Aufkleber auf dem Produkt 8

1.3.4 Abkürzungen 9

1.4 Markennachweis 9

2 Sicherheit 10

2.1 Allgemeine Sicherheitshinweise 10

2.2 Sicherheitshinweise 10

2.3 Sicherheitsmaßnahmen 14

2.4 Einsatzgrenzen des Produkts 15

2.5 Bestimmungsgemäße Verwendung 15

2.6 Vorhersehbarer Fehlgebrauch 16

2.7 Personenqualifikation 16

2.7.1 Personenqualifikation sicherstellen 16

2.7.2 Personenqualifikation bei Wartung und Reparatur 17

2.7.3 Mit Pfeiffer Vacuum weiterbilden 17

3 Produktbeschreibung 18

3.1 Funktion 18

3.1.1 Kühlung 18

3.1.2 Rotorlager 18

3.1.3 Antrieb 18

3.2 Produkt identifizieren 19

3.2.1 Produkttypen 19

3.2.2 Produktmerkmale 19

3.3 Lieferumfang 19

4 Transport und Lagerung 20

4.1 Transport 20

4.2 Lagerung 20

5 Installation 21

5.1 Vorbereitende Arbeiten 21

5.2 Hochvakuumseite anschließen 22

5.2.1 Anforderungen für die Auslegung des Gegenflansches 22

5.2.2 Erdbebensicherheit berücksichtigen 22

5.2.3 Splitterschutz oder Schutzgitter verwenden 23

5.2.4 Dämpfungskörper verwenden 23

5.2.5 Einbaulagen 24

5.2.6 ISO-KF Flansch an ISO-KF befestigen 24

5.2.7 ISO-K Flansch an ISO-K befestigen 25

5.2.8 ISO-K Flansch an ISO-F befestigen 25

5.2.9 CF-Flansch an CF-F befestigen 27

5.3 Vorvakuumseite anschließen 28

5.4 Zubehör anschließen 29

5.5 Elektrische Versorgung anschließen 30

5.5.1 Turbopumpe erden 30

5.5.2 Elektrischen Anschluss herstellen 31

6 Betrieb 33

Inhaltsverzeichnis

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6.1 Inbetriebnahme 33

6.2 Betriebsarten 33

6.2.1 Betrieb ohne Bedieneinheit 34

6.2.2 Betrieb über Anschluss "E74" 34

6.2.3 Betrieb über Multifunktionsanschluss "X3" 34

6.2.4 Betrieb über Pfeiffer Vacuum Steuergerät 34

6.2.5 Betrieb über Feldbus 34

6.3 Turbopumpe einschalten 35

6.4 Betriebsüberwachung 35

6.4.1 Betriebsanzeige über LED 35

6.4.2 Temperaturüberwachung 36

6.5 Ausschalten und Fluten 36

6.5.1 Ausschalten 36

6.5.2 Fluten 36

7 Wartung 38

7.1 Allgemeine Wartungshinweise 38

7.2 Wartungsintervalle und- zuständigkeiten 38

7.3 Betriebsmittelspeicher austauschen 39

7.3.1 Betriebsmittelspeicher demontieren 39

7.3.2 Betriebsmittelspeicher montieren 40

7.4 Antriebselektronik austauschen 41

7.4.1 Antriebselektronik demontieren 42

7.4.2 Antriebselektronik installieren 42

7.4.3 Drehzahlvorgabe bestätigen 43

8 Außerbetriebnahme 44

8.1 Stillsetzen für längere Zeit 44

8.2 Wiederinbetriebnahme 44

9 Recycling und Entsorgung 45

9.1 Allgemeine Entsorgungshinweise 45

9.2 Turbopumpe entsorgen 45

10 Störungen 46

11 Servicelösungen von Pfeiffer Vacuum 48

12 Ersatzteile HiPace 30 50

13 Zubehör 51

13.1 Zubehörinformationen 51

13.2 Zubehör bestellen 51

14 Technische Daten und Abmessungen 53

14.1 Allgemeines 53

14.2 Technische Daten 53

14.3 Abmessungen 55

EG Konformitätserklärung 57

UK Konformitätserklärung 58

Inhaltsverzeichnis

4/114

Tabellenverzeichnis

Tab. 1: Verwendete Abkürzungen im Dokument 9

Tab. 2: Zulässige Umgebungsbedingungen 15

Tab. 3: Produktbezeichnung von HiPace Turbopumpen 19

Tab. 4: Merkmale der Turbopumpen 19

Tab. 5: Anforderungen für die Auslegung des kundenseitigen Hochvakuuman-

schlusses

Tab. 6: Verhalten des Saugvermögens bei Splitterschutz oder Schutzgitter 23

Tab. 7: Werkseitige Einstellung der Antriebselektronik von Turbopumpen bei Auslie-

ferung

Tab. 8: Verhalten und Bedeutung der LEDs an der Antriebselektronik 36

Tab. 9: Werkseinstellungen für verzögertes Fluten bei Turbopumpen 37

Tab. 10: Charakteristische Nenndrehzahlen der Turbopumpen 43

Tab. 11: Störungsbehebung bei Turbopumpen 47

Tab. 12: Übersicht über die verfügbaren Ersatzteile für HiPace 30 50

Tab. 13: Zubehörliste 52

Tab. 14: Umrechnungstabelle: Druckeinheiten 53

Tab. 15: Umrechnungstabelle: Einheiten für Gasdurchsatz 53

Tab. 16: Technische Daten für HiPace 30 | 24 V 55

Tabellenverzeichnis

5/114

Abbildungsverzeichnis

Abb. 1: Position der Aufkleber auf dem Produkt 9

Abb. 2: Aufbau HiPace 30 18

Abb. 3: Beispiel: Sicherheitsverbindungen 23

Abb. 4: Empfohlene Ausrichtung bei Verwendung ölgedichteter Vorpumpen 24

Abb. 5: Flanschverbindung ISO-KF mit Spannring 24

Abb. 6: Flanschverbindung ISO-K zu ISO-K, Klammerschraube 25

Abb. 7: Flanschverbindung ISO-K mit ISO-F, Pratze und Gewindebohrung 25

Abb. 8: Flanschverbindung ISO-K mit ISO-F, Sechskantschraube und Gewindeboh-

rung

Abb. 9: Flanschverbindung ISO-K mit ISO-F, Stiftschraube und Gewindebohrung 26

Abb. 10: Flanschverbindung ISO-K mit ISO-F, Stiftschraube und Durchgangsbohrung 26

Abb. 11: Flanschverbindung CF-F, Sechskantschraube und Durchgangsbohrung 27

Abb. 12: Flanschverbindung CF-F, Siftschraube und Gewindebohrung 27

Abb. 13: Flanschverbindung CF-F, Siftschraube und Durchgangsbohrung 28

Abb. 14: Beispiel für den Vorvakuumanschluss an HiPace 30 29

Abb. 15: Beispiel für den Zubehöranschluss über Adapter TCS 12 29

Abb. 16: Beispiel: Anschluss des Erdungskabels 30

Abb. 17: Antriebselektronik mit Netzteil verbinden 31

Abb. 18: Betriebsmittelspeicher demontieren 40

Abb. 19: Kapillarstäbe einsetzen und Betriebsmittelspeicher montieren 41

Abb. 20: Demontage der Antriebselektronik 42

Abb. 21: Montage der Antriebselektronik 43

Abb. 22: Ersatzteile HiPace 30 50

Abb. 23: Abmessungen HiPace 30 | DN 63 ISO-K 55

Abb. 24: Abmessungen HiPace 30 | DN 63 CF-F 55

Abb. 25: Abmessungen HiPace 30 | DN 40 ISO-KF 56

Abbildungsverzeichnis

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1 Zu dieser Anleitung

WICHTIG

Vor Gebrauch sorgfältig lesen.

Aufbewahren für späteres Nachschlagen.

1.1 Gültigkeit

Diese Betriebsanleitung ist ein Kundendokument der Firma Pfeiffer Vacuum. Die Betriebsanleitung be-

schreibt das benannte Produkt in seiner Funktion und vermittelt die wichtigsten Informationen für den

sicheren Gebrauch des Geräts. Die Beschreibung erfolgt nach den geltenden Richtlinien. Alle Angaben

in dieser Betriebsanleitung beziehen sich auf den aktuellen Entwicklungsstand des Produkts. Die Doku-

mentation behält ihre Gültigkeit, sofern kundenseitig keine Veränderungen am Produkt vorgenommen

werden.

1.1.1 Mitgeltende Dokumente

Dokument Nummer

Betriebsanleitung "Antriebselektronik" TC 110 Standard PT 0204 BN

Betriebsanleitung "Antriebselektronik" TC 110 PB PT 0245 BN

Betriebsanleitung "Antriebselektronik" TC 110 E74 PT 0301 BN

Betriebsanleitung "Antriebselektronik" TC 110 RS PT 0351 BN

Konformitätserklärung Bestandteil dieses Dokuments

Sie finden diese Dokumente im Pfeiffer Vacuum Download Center.

1.1.2 Varianten

●HiPace 30, DN 63 ISO-K, TC 110

●HiPace 30, DN 63 CF-F, TC 110

●HiPace 30, DN 40 ISO-KF, TC 110

1.2 Zielgruppe

Diese Betriebsanleitung richtet sich an alle Personen, die das Produkt

●transportieren,

●aufstellen (installieren),

●bedienen und betreiben,

●außerbetriebnehmen,

●warten und reinigen,

●lagern oder entsorgen.

Die in diesem Dokument beschriebenen Arbeiten dürfen nur Personen durchführen, die eine geeignete

technische Ausbildung besitzen (Fachpersonal) oder eine entsprechende Schulung durch Pfeiffer Vacu-

um erhalten haben.

1.3 Konventionen

1.3.1 Anweisungen im Text

Handlungsanweisungen im Dokument folgen einem generellen und in sich abgeschlossenen Aufbau.

Die notwendige Tätigkeit ist durch einen einzelnen oder mehrere Handlungsschritte gekennzeichnet.

Einzelner Handlungsschritt

Ein liegendes gefülltes Dreieck kennzeichnet den einzigen Handlungsschritt einer Tätigkeit.

►Dies ist ein einzelner Handlungsschritt.

Zu dieser Anleitung

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Abfolge von mehreren Handlungsschritten

Die numerische Aufzählung kennzeichnet eine Tätigkeit mit mehreren notwendigen Handlungsschritten.

1. Handlungsschritt 1

2. Handlungsschritt 2

3. ...

1.3.2 Piktogramme

Im Dokument verwendete Piktogramme kennzeichnen nützliche Informationen.

Hinweis

Tipp

QR-Code verlinkt auf weiterführende Online-Informationen.

Wir empfehlen die Ansicht auf einem Tabletcomputer. Beachten Sie anfallende Datenmen-

gen.

1.3.3 Aufkleber auf dem Produkt

Dieser Abschnitt beschreibt alle vorhandenen Aufkleber auf dem Produkt, sowie deren Bedeutung.

C US

TÜV Rheinland

Oil

S/N

Mod.

Type 12

IP44

P/N

n, f

Mass Made in Germany 2023/_ _

D-35614 Asslar Berliner Str. 43

HiPace 30

PM P05 _ _ _

_ _ _ _ _ _ _ _

PM 183 900 -T

90000 1/min, 1500 Hz

_ _ kg

Typenschild (Beispiel)

Das Typenschild der Turbopumpe befindet sich am Unterteil

der Vakuumpumpe.

Typenschild der Antriebselektronik

Das Typenschild der Antriebselektronik befindet sich auf de-

ren Oberseite.

Hinweis Betriebsanleitung

Dieser Aufkleber weist darauf hin, vor allen Tätigkeiten die-

se Betriebsanleitung zu lesen.

Schutzklasse

Dieser Aufkleber beschreibt die Schutzklasse 1 für das Pro-

dukt. Die Platzierung zeigt die Position für den Erdungsan-

schluss an.

warranty seal

Verschlusssiegel

Das Produkt ist ab Werk versiegelt. Beschädigung oder Ent-

fernen eines Verschlusssiegels führt zum Verlust der Ge-

währleistung.

Zu dieser Anleitung

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Abb. 1: Position der Aufkleber auf dem Produkt

1 Hinweis Betriebsanleitung 4 Typenschild der Turbopumpe

2 Typenschild Antriebselektronik 5 Hinweis Erdungsanschluss

3 Verschlusssiegel

1.3.4 Abkürzungen

Abkürzung Bedeutung im Dokument

CF Flansch: Anschlussverbindung metallgedichtet gemäß ISO 3669

dBetrag des Durchmessers (in mm)

DC Gleichstrom

DN Nomineller Durchmesser als Größenbeschreibung

fBetrag der Drehzahl einer Vakuumpumpe (frequency, in 1/min oder Hz)

HPU Handheld Programming Unit. Assistent zur Steuerung und Kontrolle der Pumpenpara-

meter

HV Hochvakuumflansch, Hochvakuumseite

ISO Flansch: Anschlussverbindung gemäß ISO 1609 und ISO 2861

LED Leuchtdiode

FE Funktionserde (functional earth)

FKM Fluor-Polymer-Kautschuk

[P:xxx] Steuerparameter der Antriebselektronik. Fettgedruckt als dreistellige Nummer in ecki-

gen Klammern. Häufig in Verbindung mit einer Kurzbezeichnung angezeigt.

Beispiel: [P:312] Softwareversion

SW Schlüsselweite

TTemperatur (in °C)

TC Antriebselektronik der Turbopumpe (turbo controller)

TPS Spannungsversorgung (turbo power supply)

VV Vorvakuumflansch, Vorvakuumanschluss

X3 15-polige D-Sub-Anschlussbuchse an der Antriebselektronik der Turbopumpe

Tab. 1: Verwendete Abkürzungen im Dokument

1.4 Markennachweis

●Torx® ist eine Marke von Acument Intellectual Properties, LLC.

●Profibus® ist eine Marke der Profibus Nutzerorganisation e.V.

Zu dieser Anleitung

9/114

2 Sicherheit

2.1 Allgemeine Sicherheitshinweise

Im vorliegenden Dokument sind folgende 4 Risikostufen und 1 Informationslevel berücksichtigt.

GEFAHR

Unmittelbar bevorstehende Gefahr

Kennzeichnet eine unmittelbar bevorstehende Gefahr, die bei Nichtbeachtung zum Tod oder zu

schweren Verletzungen führt.

►Anweisung zur Vermeidung der Gefahrensituation

WARNUNG

Möglicherweise bevorstehende Gefahr

Kennzeichnet eine bevorstehende Gefahr, die bei Nichtbeachtung zum Tod oder zu schweren Verlet-

zungen führen kann.

►Anweisung zur Vermeidung der Gefahrensituation

VORSICHT

Möglicherweise bevorstehende Gefahr

Kennzeichnet eine bevorstehende Gefahr, die bei Nichtbeachtung zu leichten Verletzungen führen

kann.

►Anweisung zur Vermeidung der Gefahrensituation

HINWEIS

Gefahr von Sachschäden

Wird verwendet um auf Handlungen aufmerksam zu machen, die nicht auf Personenschäden bezo-

gen sind.

►Anweisung zur Vermeidung von Sachschäden

Hinweise, Tipps oder Beispiele kennzeichnen wichtige Informationen zum Produkt oder zu

diesem Dokument.

2.2 Sicherheitshinweise

Alle Sicherheitshinweise in diesem Dokument beruhen auf Ergebnissen der Risikobeurteilung gemäß

Maschinenrichtlinie 2006/42/EG Anhang I und EN ISO 12100 Kapitel 5. Soweit zutreffend wurden alle

Lebensphasen des Produkts berücksichtigt.

Risiken beim Transport

WARNUNG

Gefahr schwerer Verletzungen durch herabfallende Gegenstände

Durch das Herabfallen von Gegenständen besteht die Gefahr von Verletzungen an Gliedmaßen bis

hin zu Knochenbrüchen.

►Seien Sie beim Transport der Produkte von Hand besonders vorsichtig und aufmerksam.

►Stapeln Sie die Produkte nicht.

►Tragen Sie Schutzausrüstungen, z. B. Sicherheitsschuhe.

Sicherheit

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