Pfeiffer Vacuum HISCROLL 6 User manual

BETRIEBSANLEITUNG

OPERATING INSTRUCTIONS

Original

HISCROLL 6 | 12 | 18

Scrollpumpe mit integriertem Drucksensor

Scroll pump with integrated pressure sensor

Dear Customer,

Thank you for choosing a Pfeiffer Vacuum product. Your new scroll pump is designed to

support you with its performance, perfect operation and without impacting your individual

application. The name Pfeiffer Vacuum stands for high-quality vacuum technology, a

comprehensive and complete range of top-quality products and first-class service. From this

extensive, practical experience we have gained a large volume of information that can

contribute to efficient deployment and to your personal safety.

In the knowledge that our product must avoid consuming work output, we trust that our

product can offer you a solution that supports you in the effective and trouble-free

implementation of your individual application.

Please read these operating instructions before putting your product into operation for the

first time. If you have any questions or suggestions, please feel free to contact info@pfeiffer-

vacuum.de.

Further operating instructions from Pfeiffer Vacuum can be found in the Download Center on

our website.

Disclaimer of liability

These operating instructions describe all models and variants of your product. Note that your

product may not be equipped with all features described in this document. Pfeiffer Vacuum

constantly adapts its products to the latest state of the art without prior notice. Please take

into account that online operating instructions can deviate from the printed operating

instructions supplied with your product.

Furthermore, Pfeiffer Vacuum assumes no responsibility or liability for damage resulting from

the use of the product that contradicts its proper use or is explicitly defined as foreseeable

misuse.

This document is the intellectual property of Pfeiffer Vacuum and all contents of this

document are protected by copyright. They may not be copied, altered, reproduced or

published without the prior written permission of Pfeiffer Vacuum.

We reserve the right to make changes to the technical data and information in this document.

2/158

Inhaltsverzeichnis

1 Zu dieser Anleitung 8

1.1 Gültigkeit 8

1.1.1 Mitgeltende Dokumente 8

1.1.2 Varianten 8

1.2 Zielgruppe 8

1.3 Konventionen 8

1.3.1 Piktogramme 8

1.3.2 Anweisungen im Text 9

1.3.3 Aufkleber auf dem Produkt 9

1.3.4 Abkürzungen 11

2 Sicherheit 12

2.1 Allgemeine Sicherheitshinweise 12

2.2 Sicherheitshinweise 12

2.3 Sicherheitsmaßnahmen 16

2.4 Einsatzgrenzen des Produkts 16

2.5 Bestimmungsgemäße Verwendung 17

2.6 Vorhersehbarer Fehlgebrauch 17

2.7 Personenqualifikation 17

2.7.1 Personenqualifikation sicherstellen 18

2.7.2 Personenqualifikation bei Wartung und Reparatur 18

2.7.3 Mit Pfeiffer Vacuum weiterbilden 18

3 Produktbeschreibung 19

3.1 Funktion 19

3.1.1 Antrieb 20

3.1.2 Kühlung 20

3.1.3 Wellenlager 20

3.1.4 Gasballast 20

3.1.5 Drucksensor 20

3.2 Anschlüsse 21

3.3 Produkt identifizieren 21

3.4 Produktmerkmale 21

3.5 Lieferumfang 21

4 Transport und Lagerung 22

4.1 Vakuumpumpe transportieren 22

4.2 Vakuumpumpe lagern 23

5 Installation 24

5.1 Vakuumpumpe aufstellen 24

5.2 Vakuumseite anschließen 24

5.3 Auspuffseite anschließen 25

5.4 Externe Gasballastversorgung anschließen 26

5.5 Netzanschluss herstellen 27

6 Schnittstellen 29

6.1 Schnittstellenübersicht 29

6.2 Schnittstelle "remote" 29

6.2.1 Eingänge 30

6.2.2 Ausgänge 30

6.2.3 RS-485 31

6.3 Steuergerät anschließen 31

6.4 Schnittstelle RS-485 verwenden 31

6.5 Pfeiffer Vacuum Protokoll für RS-485-Schnittstelle 32

6.5.1 Telegrammrahmen 32

6.5.2 Telegrammbeschreibung 32

Inhaltsverzeichnis

3/158

6.5.3 Telegramm Beispiel 1 33

6.5.4 Telegramm Beispiel 2 33

6.5.5 Datentypen 33

7 Parametersatz 35

7.1 Allgemeines 35

7.2 Stellbefehle 35

7.3 Statusabfragen 37

7.4 Sollwertvorgaben 37

8 Betrieb 39

8.1 Vakuumpumpe in Betrieb nehmen 39

8.2 Vakuumpumpe einschalten 39

8.3 Anschlüsse mit dem Pfeiffer Vacuum Parametersatz konfigurieren 39

8.3.1 Digitalausgänge konfigurieren 39

8.3.2 Digitaleingang konfigurieren 40

8.3.3 Schnittstellen auswählen 40

8.3.4 Zubehör konfigurieren 40

8.4 Betriebsart auswählen 41

8.5 Geschwindigkeitsmodi 41

8.5.1 Normalbetrieb 42

8.5.2 Standby-Betrieb 42

8.5.3 Drehzahlstellbetrieb 42

8.5.4 Auto-Boost 43

8.5.5 Auto-Standby 43

8.5.6 Auto-Start 43

8.6 Druckregelbetrieb 43

8.7 Effektiven Druck mit Korrekturfaktoren ermitteln 44

8.8 Gasballast verwenden 45

8.8.1 Gasballastventil mit Drucksensor steuern 46

8.8.2 Gasballastventil ohne Drucksensor steuern 47

8.9 Betriebsanzeige über LED 48

8.10 Vakuumpumpe ausschalten 48

9 Wartung 49

9.1 Wartungsinformationen 49

9.2 Checkliste für Inspektion und Wartung 49

9.3 Auspuffseitiges Rückschlagventil austauschen 50

9.3.1 Rückschlagventil demontieren 51

9.3.2 Rückschlagventilentil montieren 51

9.4 Gasballastventil austauschen 52

9.4.1 Gasballastventil demontieren 52

9.4.2 Gasballastventil montieren 53

9.5 Tip Seal wechseln 54

9.5.1 Spiralgehäuse demontieren 54

9.5.2 Tip Seal austauschen 56

9.5.3 Pumpengehäuse zusammenbauen 58

9.6 Abschlussprüfung 59

10 Außerbetriebnahme 60

10.1 Stillsetzen für längere Zeit 60

10.2 Wiederinbetriebnahme 60

11 Recycling und Entsorgung 61

11.1 Allgemeine Entsorgungshinweise 61

11.2 Scrollpumpe entsorgen 61

12 Störungen 62

12.1 Allgemeines 62

12.2 Fehlercodes 63

Inhaltsverzeichnis

4/158

12.3 Warn- und Fehlermeldungen bei Betrieb mit Steuergeräten 64

13 Servicelösungen von Pfeiffer Vacuum 66

14 Ersatzteile 68

15 Zubehör 70

15.1 Zubehörinformationen 70

15.2 Zubehör bestellen 70

16 Technische Daten und Abmessungen 72

16.1 Allgemeines 72

16.2 Technische Daten 72

16.3 Medienberührende Werkstoffe 75

16.4 Abmessungen 76

EG Konformitätserklärung 78

UK Konformitätserklärung 79

Inhaltsverzeichnis

5/158

Tabellenverzeichnis

Tab. 1: Verwendete Abkürzungen 11

Tab. 2: Zulässige Umgebungsbedingungen 17

Tab. 3: Schnittstellen der Antriebselektronik 21

Tab. 4: Merkmale der Scrollpumpen 21

Tab. 5: Anschlussbelegung des 15-poligen Anschlusses "remote" 30

Tab. 6: Merkmale der Schnittstelle RS-485 31

Tab. 7: Erläuterung und Bedeutung der Parameter 35

Tab. 8: Stellbefehle 36

Tab. 9: Statusabfragen 37

Tab. 10: Sollwertvorgaben 38

Tab. 11: Parameter [P.019] und [P:024] konfigurieren 40

Tab. 12: Parameter [P:063] konfigurieren 40

Tab. 13: Parameter [P:060] 40

Tab. 14: Korrekturfaktoren für den Druckbereich < 1 hPa 44

Tab. 15: Schalterstellungen Gasballastventil HiScroll 46

Tab. 16: Verhalten und Bedeutung der LEDs an der Antriebselektronik 48

Tab. 17: Verhalten und Bedeutung der LED Standby 48

Tab. 18: Instandhaltungsintervalle 50

Tab. 19: Störungsbehebung bei Scrollpumpen 63

Tab. 20: Fehlermeldungen der Antriebselektronik 64

Tab. 21: Warnmeldungen der Antriebselektronik 64

Tab. 22: Warn- und Fehlermeldungen 65

Tab. 23: Ersatzteilpaket 68

Tab. 24: Ersatzteilpaket 69

Tab. 25: Zubehör für HiScroll 71

Tab. 26: Umrechnungstabelle: Druckeinheiten 72

Tab. 27: Umrechnungstabelle: Einheiten für Gasdurchsatz 72

Tab. 28: Technische Daten für HiScroll 6 73

Tab. 29: Technische Daten für HiScroll 12 74

Tab. 30: Technische Daten für HiScroll 18 75

Tab. 31: Werkstoffe mit Prozessmedienkontakt 75

Tabellenverzeichnis

6/158

Abbildungsverzeichnis

Abb. 1: Position der Aufkleber auf dem Produkt 10

Abb. 2: Schematischer Verdichtungszyklus von Scrollpumpen 19

Abb. 3: Aufbau HiScroll, Ausführung mit Drucksensor 20

Abb. 4: Anschlagpunkte für den Transport der Scrollpumpe 22

Abb. 5: Mindestabstände und zulässige Neigung 24

Abb. 6: Beispiel für den Vakuumanschluss 25

Abb. 7: Beispiel für den Auspuffanschluss 26

Abb. 8: Externe Gasballastversorgung anschließen 27

Abb. 9: Netzanschluss herstellen 28

Abb. 10: Schnittstellen der Antriebselektronik 29

Abb. 11: Anschlussdiagramm des 15-poligen Anschlusses "remote" 29

Abb. 12: Anschluss eines Steuergeräts über Anschluss "remote" 31

Abb. 13: Vernetzung über Anschluss RS-485 mit Verbindungskabeln und Zubehör 32

Abb. 14: Belegung Zubehöranschluss 41

Abb. 15: Geschwindigkeitsmodi 42

Abb. 16: Angezeigter Druck 45

Abb. 17: Druckabhängige Gasballastventilsteuerung im Automatikmodus 47

Abb. 18: Gasballastventilsteuerung im Automatikmodus 47

Abb. 19: Ventil demontieren 51

Abb. 20: Ventil montieren 51

Abb. 21: Gasballastventil demontieren 52

Abb. 22: Gasballastventil demontieren 53

Abb. 23: Gasballastventil zusammenbauen 53

Abb. 24: Gasballastventil montieren 54

Abb. 25: Lüfterhaube der Scrollpumpe lösen 55

Abb. 26: Lüfterhaube der Scrollpumpe abnehmen 55

Abb. 27: Spiralgehäuse der Scrollpumpe abnehmen 56

Abb. 28: Tip Seal der Scrollpumpe austauschen 57

Abb. 29: Tip Seal Nut im Spiralgehäuse 57

Abb. 30: Gehäuseteile zusammenbauen 58

Abb. 31: HiScroll Wartungssatz 1 68

Abb. 32: HiScroll Ventilsatz 69

Abb. 33: HiScroll 6 | Version mit Drucksensor 76

Abb. 34: HiScroll 12 | HiScroll 18 | Version mit Drucksensor 77

Abbildungsverzeichnis

7/158

1 Zu dieser Anleitung

WICHTIG

Vor Gebrauch sorgfältig lesen.

Aufbewahren für späteres Nachschlagen.

1.1 Gültigkeit

Diese Betriebsanleitung ist ein Kundendokument der Firma Pfeiffer Vacuum. Die Betriebsanleitung be-

schreibt das benannte Produkt in seiner Funktion und vermittelt die wichtigsten Informationen für den

sicheren Gebrauch des Geräts. Die Beschreibung erfolgt nach den geltenden Richtlinien. Alle Angaben

in dieser Betriebsanleitung beziehen sich auf den aktuellen Entwicklungsstand des Produkts. Die Doku-

mentation behält ihre Gültigkeit, sofern kundenseitig keine Veränderungen am Produkt vorgenommen

werden.

1.1.1 Mitgeltende Dokumente

Dokument Nummer

Betriebsanleitung Gasballastventil, automatisiert PU 0104 BN

Konformitätserklärung Bestandteil dieser Anleitung

Sie finden dieses Dokument im Pfeiffer Vacuum Download Center.

1.1.2 Varianten

●HiScroll 6, Scrollpumpe, mit Drucksensor

●HiScroll 6, Scrollpumpe, mit Drucksensor, ohne GB

●HiScroll 6, Scrollpumpe, mit Drucksensor und automatisiertem GB

●HiScroll 12, Scrollpumpe, mit Drucksensor

●HiScroll 12, Scrollpumpe, mit Drucksensor, ohne GB

●HiScroll 12, Scrollpumpe, mit Drucksensor und automatisiertem GB

●HiScroll 18, Scrollpumpe, mit Drucksensor

●HiScroll 18, Scrollpumpe, mit Drucksensor, ohne GB

●HiScroll 18, Scrollpumpe, mit Drucksensor und automatisiertem GB

1.2 Zielgruppe

Diese Betriebsanleitung richtet sich an alle Personen, die das Produkt

●transportieren,

●aufstellen (installieren),

●bedienen und betreiben,

●außerbetriebnehmen,

●warten und reinigen,

●lagern oder entsorgen.

Die in diesem Dokument beschriebenen Arbeiten dürfen nur Personen durchführen, die eine geeignete

technische Ausbildung besitzen (Fachpersonal) oder eine entsprechende Schulung durch Pfeiffer Vacu-

um erhalten haben.

1.3 Konventionen

1.3.1 Piktogramme

Im Dokument verwendete Piktogramme kennzeichnen nützliche Informationen.

Zu dieser Anleitung

8/158

Hinweis

Tipp

1.3.2 Anweisungen im Text

Handlungsanweisungen im Dokument folgen einem generellen und in sich abgeschlossenen Aufbau.

Die notwendige Tätigkeit ist durch einen einzelnen oder mehrere Handlungsschritte gekennzeichnet.

Einzelner Handlungsschritt

Ein liegendes gefülltes Dreieck kennzeichnet den einzigen Handlungsschritt einer Tätigkeit.

►Dies ist ein einzelner Handlungsschritt.

Abfolge von mehreren Handlungsschritten

Die numerische Aufzählung kennzeichnet eine Tätigkeit mit mehreren notwendigen Handlungsschritten.

1. Handlungsschritt 1

2. Handlungsschritt 2

3. ...

1.3.3 Aufkleber auf dem Produkt

Dieser Abschnitt beschreibt alle vorhandenen Aufkleber auf dem Produkt, sowie deren Bedeutung.

C US

TÜV Rheinland

UL/CSA 61010-1

IP40/Type 1

Mod. HiScroll 6

P/N PD S10 010

S/N - - - - - - - -

Made in Germany 2023/04

S(N2)max. 6.1 m3/h

Mass 19 kg

nmax. 3000 1/min

100-127 VAC ±10% 50/60 Hz 4.0 A

200-240 VAC ±10% 50/60 Hz 2.0 A

SCCR: 500 A @ 250 VAC,

10 kA @ 125 VAC

D-35614 Asslar Berliner Str. 43

Typenschild

Das Typenschild befindet sich gut sichtbar auf einer Längsseite

der Vakuumpumpe.

C US

TÜV Rheinland

Mod. HiScroll 12

P/N PD S20 010

S/N - - - - - - - -

Made in Germany 2023/04

S(N2)max. 12.1 m3/h

Mass 24 kg

nmax. 1870 1/min

100-127 VAC ±10% 50/60 Hz 8.0 A

200-240 VAC ±10% 50/60 Hz 4.0 A

SCCR: 500 A @ 250 VAC,

10 kA @ 125 VAC

D-35614 Asslar Berliner Str. 43

UL/CSA 61010-1

IP40/Type 1

Typenschild

Das Typenschild befindet sich gut sichtbar auf einer Längsseite

der Vakuumpumpe.

Zu dieser Anleitung

9/158

C US

TÜV Rheinland

Mod. HiScroll 18

P/N PD S30 010

S/N - - - - - - - -

Made in Germany 2023/04

S(N2)max. 18.1 m3/h

Mass 23 kg

nmax. 1870 1/min

100-127 VAC ±10% 50/60 Hz 10.0 A

200-240 VAC ±10% 50/60 Hz 6.0 A

SCCR: 500 A @ 250 VAC,

10 kA @ 125 VAC

D-35614 Asslar Berliner Str. 43

UL/CSA 61010-1

IP40/Type 1

Typenschild

Das Typenschild befindet sich gut sichtbar auf einer Längsseite

der Vakuumpumpe.

Warnung heiße Oberfläche

Dieser Aufkleber warnt vor Verletzungen durch hohe Tempera-

turen bei ungeschützer Berührung während des Betriebs.

Hinweis Betriebsanleitung

Dieser Aufkleber weist darauf hin, vor allen Tätigkeiten diese

Betriebsanleitung zu lesen.

warranty seal

Verschlusssiegel

Das Produkt ist ab Werk versiegelt. Beschädigung oder Entfer-

nen eines Verschlusssiegels führt zum Verlust der Gewährleis-

tung.

Abb. 1: Position der Aufkleber auf dem Produkt

1Hinweis: Betriebsanleitung lesen

2Typenschild

3Warnzeichen heiße Oberfläche

4Verschlusssiegel

Zu dieser Anleitung

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